主要配置

参数

型号

a1064-14

a355-14

振镜参数

通光孔径(mm)

8

跟随误差 (ms)

0.3

最大标刻速度 (mm/s)

3000

定位速度 (mm/s)

7000

1%全行程 (ms)

0.65

10%全行程 (ms)

1.6

重复标刻精度 (µrad)

< 2

最大增益漂移 (ppm/k)

< 80

最大零位漂移 (µrad/k)

< 15

8小时连续工作漂移(mrad)

< 0.3

非线性度 (%)

< 0.4

接口协议

xy2-100

工作偏转角

±12.5°

动态变焦系统参数

系统入射光斑

7mm

<2.8mm

扩束比

1.4

5

z轴变焦范围

±30mm

±20mm

光学参数

波长

1030-1070 nm

355nm

最大承受功率

100w

25w

工作范围

150*150^①

150*150^②

基本参数

电源要求

±15vdc, ≥5a

工作温度(℃)

25±10℃